RAID 3,RAID 4 の改良型で、パリティを複数のドライブに分散し、RAID 4で問題になるパリティディスクの負荷を軽減したもの。
HDD二台目が死ぬと復旧不能になる。しかし大概、再構築中にもう一台が死ぬか、気づいたときには二台目が死んでいる。
RAID 5は、パリティ情報生成に負担がかかるためハードウェアで行う事が多い。
最近はHDD1基あたりの容量の大容量化・RAIDに用いるHDD数の増加・HDD自体のコスト低下に伴う品質や寿命の低下といった要因が折り重なってRAID 5でも信頼性として乏しくなってきつつあり、IDEやシリアルATAといった低コストのHDDを使用するディスクアレイ装置においてはより信頼性の高いRAID 6に取って代わられつつある。